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化学研磨

化学研磨とは、名前の通り化学的な反応によって加工したい表面を溶かしていく研磨手法の総称で、電解研磨もこの化学研磨の一種ということもできますが、実用上は両者は区別されています。また半導体用途のシリコンウエハの研磨で使われるCMP研磨も、化学的機械的研磨と訳されますが、化学反応の一種が起きている研磨手法のことについても言われる場合がありますが、化学研磨といったときは、液槽のなかにある溶液に加工対象を付けて、表面を溶解させるタイプの研磨加工であるというほうが正確かもしれません。

化学研磨の意味する範囲は広いですが、電解研磨の場合は、加工対象を陽極に、液槽の中には近くに陰極を配置しますので、これらの配置関係によって部分的に研磨するというような技法が可能となります。広い意味での化学研磨は加熱や溶解の他、研磨面で「化学反応」を引き越すタイプのものを示している場合もあります。

細かい部品の表面を大量に仕上げる必要がある場合には特に化学研磨が向いているとされます。電解研磨の場合は、ワークに電気を通すため、部品のどこかに接点を作る必要があり、大量の微細な部品等の場合、こうしたことが難しくなります。

また電気を通す必要がないのも化学研磨の特徴で、溶解液の中で仕上げていくため、コンタミの問題も少ないとされます。このため、高純度の洗浄が必要な場合にも使われます。材質はあくまで化学的に溶解し、その溶解により表面がきれいに仕上がるものと言う制約はありますが、加工材料と内容によっては大きな効果が期待できます。

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