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銅の研磨

銅は、真鍮もしくは黄銅と呼ばれるものが大半を占め、銅材を研磨する加工の大半はこれらの銅合金の加工となります。電線や配線に使われていることから分かるとおり、高い導電性や熱伝導性をもつのがこの材料の特徴ですが、プレスなどでの塑性加工にも向いており、加工性の高い材料でもあります。

耐食性や機械的強度に優れた銅合金もあり、用途も多岐にわたりますが、表面硬度はあまり高くないため、傷はつきやすく、高い面精度に仕上げるのは骨の折れる材料です。CMPや化学研磨などの物理的な研磨以外の方法もよく用いられますが、バフなどではなく物理的に研磨する場合は、C砥粒がよく用いられます。バフの場合は、サイザルバフや綿バフなどにアルミナ系やクロム、酸化鉄などを含有した研磨材を使用する場合もあります。