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サファイア基板研磨

サファイア基板は特にLED用の基板として使われ、サファイア結晶そのものを研削・研磨することから、ウエハ状になったものをポリッシングする工程まで各所で「研磨」を見ることが出来ます。

サファイアは酸化アルミニウム(Al2O3)を主成分としており、その硬度は鉱石の中ではトップクラスのもので、アルミナ自体が研磨材に使われていることからもその硬さが伺えます。なおダイヤモンドと比べると、モース硬度では一段階しか違いませんが、実際の硬度にはかなりの開きがあり、やはりダイヤの硬さにはどの鉱石も及びません。

サファイアは結晶として引き上げたあと、LED用として切断・研磨して用いられるほか、時計の窓ガラスや装置の窓部分などにもサファイアガラスとして使われます。

結晶の加工ではダイヤモンド砥石が使われますが、ラッピングなどの必要となるサファイア基板の研磨にはコロイダルシリカ系のCMPスラリーが用いられます。