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ロータリー研磨について

ロータリー研磨とは、通常ロータリー研削盤を使った研磨加工のことを言います。これは大量のウエハや基板、プレートなどの研磨するのに適した研磨機で、精度の高い面粗度と厚み制御が可能です。原理としては、ワークをのせる台(定盤)そのものが回転する機構をもっており、複数の加工品を同時に仕上げていくことができます。

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